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HG/T 5895-2022 工業(yè)用混合氣體 硅烷 氮氣

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  • 大小:2.59 MB
  • 語言:中文版
  • 格式: PDF文檔
  • 類別:氣體貯罐
  • 更新日期:2023-06-13
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關(guān)鍵詞:氮氣   硅烷   HG   5895   2022
資源簡介
本文件規(guī)定了工業(yè)用氮中硅烷混合氣體的制備方法、試驗方法,確立了檢驗規(guī)則,規(guī)定了混合氣體的技術(shù)要求、標(biāo)志、包裝、儲存及安全信息的要求。
本文件適用于由電子工業(yè)用硅烷和高純氮(或超純氮)為原料制備的混合氣體。
下載地址
HG/T 5895-2022 工業(yè)用混合氣體 硅烷 氮氣資源截圖