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YS/T 26-2016 硅片邊緣輪廓檢驗(yàn)方法
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大?。?span itemprop="fileSize">2.23 MB
語言:
中文版
格式:
PDF文檔
類別:
金屬冶金
更新日期:
2022-03-21
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關(guān)鍵詞:
硅片
輪廓
邊緣
檢驗(yàn)
方法
資源簡(jiǎn)介
本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了硅片邊緣輪廓(包含切口)的檢驗(yàn)方法。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于檢驗(yàn)倒角硅片的邊緣輪廓(包含切口),砷化鎵等其他材料晶片邊緣輪廓的檢驗(yàn)可參照本標(biāo)準(zhǔn)執(zhí)行。
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YS/T 1167-2016 硅單晶腐蝕片
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