本文件適用于評(píng)估在潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境中使用的機(jī)械、測(cè)試設(shè)備、工藝設(shè)備、部件及工具等設(shè)備的適用性。根據(jù)GB/T 25915.1，關(guān)注懸浮粒子粒徑范圍為0.1 μm至大于或等于5 μm。
本文件不適用于：
——根據(jù)微生物污染評(píng)估適用性；
——對(duì)清潔劑及清潔技術(shù)的適用性進(jìn)行測(cè)試；
——設(shè)備和材料的可清潔性；
——設(shè)備設(shè)計(jì)及材料選擇的要求；
——材料的靜電、熱學(xué)等物理性能；
——具體工藝場(chǎng)合設(shè)備性能的優(yōu)化；
——測(cè)試統(tǒng)計(jì)方法的選用；
——當(dāng)?shù)匕踩ㄒ?guī)的條款和要求。
