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GB/T 25915.15-2022 潔凈室及相關受控環(huán)境 第15部分：按氣態(tài)化學物濃度評定設備及材料的適用性

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  • 大?。?span itemprop="fileSize">6.09 MB
  • 語言：中文版
  • 格式： PDF文檔
  • 類別：電子信息
  • 更新日期：2023-04-16
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關鍵詞：受控   氣態(tài)   濃度   化學   潔凈室
資源簡介
本文件規(guī)定了評定潔凈室及相關受控環(huán)境中設備和材料的適用性要求，提供了指南。
本文件不適用于以下內(nèi)容：健康和安全要求，清潔劑及清潔技術的相容性，清潔性，生物污染，工藝和產(chǎn)品對設備和材料的特定要求，設備的設計細節(jié)。
下載地址
GB/T 25915.15-2022 潔凈室及相關受控環(huán)境 第15部分：按氣態(tài)化學物濃度評定設備及材料的適用性資源截圖